1. ads 602h示意图
2. 操作手柄
① 监控界面介绍
770h→真空泵运行时间用于泵维护时的时间记录;
rem→真空泵在远程监控 ，如显示loc，表示本地控制状态;
adp power→adp泵功率;
pressure→排气口附近气压;
adp temp→adp泵温度;
n2 flow→n2流量;
② 功能菜单介绍
set 参数设置键按该键可以进入参数设置菜单或者退出各菜单;
“ /-”键 选择键按该键可移动到前一个或后一菜单，也可以调整参数的数值;
enter 设置确认键按该键可以对选择的菜单,设置.参数进行确认;
3. 真空泵硬件介绍
① 信号灯及急停按钮
绿灯表示正常运转;
黄灯表示警告状态，机器仍可继续运转;
红灯表示警报错误状态，机器不能运转;
② 真空泵的接口
a. 急停(emo)短接头及j14远程控制接口
b. j6与j7为rs232与rs485通讯接口，通过它们可以与pc建立通讯连接;
③ 主电源线
主电源线接头的1，2，3号接线端子分别接三根相线，6号端子接地，当真空泵出现反转时，调换1，2，3号端子中的任何两个端子的接线即可。
④ 冷却水及n2压力表
a. 流量计背后为水流量，冷却水流量需要达到80l/h;
b. 冷却压力要求：
提供的冷却水压力需要达到 3 bar – 7 bar(绝对压力)。同时确保进水口和出水口，压差至少在2 bar以上，冷却水温度为 10 – 25 ℃。
水流量计，可在开机时调节水流量，此泵也配置了流量开关，一旦水流量低于15 l/h，泵会自动报警。
c. n2压力要求：
泵的n2压力也需要达到3 bar – 7 bar(绝对压力)，而每台泵都配置了压力表，调节阀以及氮气质量流量计，可根据工艺来调节n2的实际流量。
d. 水管及n2接口
⑤ 真空泵冷却系统
a. 冷却系统示意图
b. 冷却水三通阀，下图打开状态为正常状态，控制着罗茨泵电机的冷却水管路。
c. 冷却水电磁阀
当adp泵温度高于设定温度时阀门打开，adp设置温度一般为100摄氏度;
当adp泵温度下降到低于adp设置温度值两摄氏度时阀门关闭;
⑥ 真空泵氮气吹扫系统
a. n2吹扫管路示意图
b. n2流量计及n2管道
作用：检测吹扫真空泵的氮气的流量，单位l/min;
银白色不锈钢管为氮气吹扫管道，总管又分出六路支管道通入机械泵内，对泵进行吹扫，防止反应气体形成sin，导致泵卡死。
⑦ 真空泵润滑系统
a. 泵油加注位置示意图
此泵有三处加油孔，其中罗茨泵有两处，adp泵有一处;
当泵油泛黄甚至变黑时需更换新的真空泵油;
该泵使用的泵油为alcatel a113 合成油正常情况下，泵油一年换一次;
b. 正常油位示意图，换油时，油位加到观察孔的一半高度;
⑧ 电气控制系统
a. 电控柜元件分布图
b. 变压器
作用：为控制单元m4提供低电压;
c. 接触器&断路器示意图
⑨ 控制系统
a. alcatel 干泵m4电控箱中各传感器的连接位置
b. 控制单元m4示意图
上图为真空泵输入信号线与输出控制线的接口，通过这些接线端子控制单元对泵体进行监测与控制;
4. 控制系统主要选项设定
① 真空泵设置菜单主要有：
definition→选项设定
seting→参数设置
maintenance→维护保养
management→管理
operating →time
last warning→警告记录
last alarm→警报记录
② 基本选项设定
按set” —“definition menu” —“enter”键
language (语言选择)：english
system select(系统选择)：ads 602
auto start(自动启动)：disabled(禁用、不激活)
roots cmd(罗茨泵单独启动命令)：disabled，此设定表示在启动adp泵的时候自动启动罗茨泵;
purge cmd(气体吹扫单独启动命令)：disabled，此设定表示真空泵在运行时进行不间断吹扫;
n2 standby(2)(n2 待机)：disabled(不激活);
③ 主要参数设定
按“set”— “setting” —“enter”键
purge warning(only with mfs)吹扫报警：35slm;
adp temperature(adp泵温度);
input value(输入值)：100℃;
alarm threshould :120℃;
adp power sensor(adp泵功率检测);
warning threshold :3500w;
alarm threshold: 5000w;
5. alcatel 干泵的常见故障排除
① adp功率报警可能原因：
电机转向不正确;
瓦特计(功率计)w1故障;
电控箱m4故障;
功率报警值设置不正确;
干泵机械故障;
排气管堵塞;
② 冷却水报警可能原因：
冷却水供给不够;
冷却电磁阀故障;
冷却水漏水;
电控箱m4故障;
水流量报警值设置不正确;
冷却水管堵塞或泄漏;
水流量开关故障;
③ 氮气流量报警可能原因：
氮气供给不足;
氮气阀故障;
氮气报警值设置不正确;
氮气管道有泄漏;
氮气质量流量计故障或未连接;
电控箱m4故障;
④ 真空泵温度过高(低)报警可能原因：
温度控制电磁阀故障;
温度控制电磁阀接线未连接或接线故障;
冷却水流量不足;
电控箱m4故障;
adp temp.传感器故障;
adp temp.传感器未连接;